Típusai ostya kockázás
Előrajzolásához egy olyan módszer, ostya kockára vágás, amely az a tény, hogy a felületen a félvezetők kovoy lemez-vágó, lézersugárral vagy más módon felvisszük egy sekély kockázatot (Engl. Scribe), amely körül koncentrálódnak cal-mechanikai feszültségeket, amelyek gyengítik az anyagot. A fő előnye az NE-Toda bekarcoltunk együtt nagy teljesítményű és a kultikus raj termelés: egy kis rések szélessége, és így nem csökken a félvezető, olyan anyag, amely nem lehet elkerülni más módszerekkel a réteglap-kristályok Cree. A leggyakrabban használt előrajzolásához planáris techno lógia gyártási IC, ha a lemezt már kialakult félig bemetszések szerkezetet.
Elkülönítést végezzük két lépésben: első skraybiruyut lemez, amely között alkalmazzuk kockázatok elő szabad tér struktúrák két egymásra merőleges irányban, majd törés egy oldott-Risk be téglalap vagy négyzet alakú kristályok. Breaking műveletet végzünk egy speciális technológiai be-nem érintett.
Minőségi előrajzolásához mechanikus kockázatok létre vágó és utólagos széthullását nagymértékben függ az állam a Rabo akinek gyémánt vágó. Munka vágó kopott vágás Reb beállított vagy vertex vezet forgácsolás, amikor bekarcoltunk és megtörve nekachestven-CIÓ. Jellemzően működnek bekarcoltunk vágó természetes gyémánt. amely, összehasonlítva egy olcsó szintetikus gyémánt vágó nagyobb ellenállás. A legszélesebb körben vágó, amelynek egy vágórészt formájában három szélű vagy négyoldalú csonka gúla, ahol a vágó elemek bordák egy piramis.
Átlagos ellenállás vágó (vágása ig) a karcoláshoz szilícium ostya 100 25-40 mm (3,500 vágások). Miután bekarcoltunk 25 - 40plastin vagy ha a chipek az ostya vágó ellenőrizni kell a mikroszkóp alatt. Egyelőre kötődik tapasztalatok felhasználása vágó kopás vágóélek 10-15 mikron praktikus, mert nem minőségi rétegkarcolás. Továbbá, a túlzott kopás a vágóéi csúcsok saját helyreállítási nehezen újracsiszolt eszköz gyors romlását a szerszám eredő bekarcoltunk ostya szilícium-oxid dielektromos bevonat vagy ion. Az ilyen lemezek gondoskodjék (bevonat nélküli) track félvezető anyag kiterjedésű távú 50-75 mikron.
Széles körű használata egy nemzet, mint lézerkarcolással Vodnikova félig-lemezeken, ahol a bemetszés (kockázat) nem képződik mechanikusan-ég, és elektrofizikai módon - lepároljuk az szűk sávban a félvezető anyagot az ostya felülete keresztül-SFD már fókuszált lézersugár, amelynek nagy sugárzási erővel.
Előrajzolásához lézersugár nagy előnyt a gyémánt előrajzolásához vágó: a munkafelületet a lemez nincs képződése mikrorepedések és a forgácsolási hiánya miatt a mechanikai érintkezés „forgácsolószerszám” (lézersugár) a félvezető anyag; Előrajzolásához sebessége növelhető többször (akár 100 - 200 mm / s), mert a lézersugár Zérah la mindig érintkezik a lemez felületén; skraybiro lehetséges, a rendelkezésre álló lemezek bármilyen, beleértve egy dielektromos bevonattal; kosár-előrajzolásához lehetséges nem csak a különböző mélységekben, hanem az a réteglapot (anélkül, hogy további részre osztjuk őket kristályok).
Méretek kockázatok - a szélessége és mélysége a hőhatásövezet a lézersugár és a előrajzolásához sebessége és egyenletessége eltávolítása ma-Therians a teljes hossza a kockázatok által meghatározott mozgási sebessége PLA-Steen viszonyítva a lézersugár, teljesítmény, gyakorisága és időtartama lézersugárzás impulzusok, és a méret a középpontjában-on talpig.
Modern lézerkarcolással telepítési lehetővé teszi ray kockázat mintegy 30 mikron széles és mélysége nem kevesebb, mint 50 mikron, előrajzolásához nagyobb fordulatszám 50-100 mm / s. Sport-zóna termikus következmény lézersugárzás tehát nem több, mint 50-75 mikron, beleértve a tea-szélesség kockázatokat. Előrajzolásához nagyobb mélysége, beleértve szétválasztása révén (hogy a mélysége 200 mikron), lényegesen alacsonyabb MSE-növekedés (5-10 mm / s).
A hátrányok lézerkarcolással tartalmaznia kell nagyobb bonyolultsága és költsége a berendezés, valamint a szükséges különleges védelmet a munkafelületet a lézer feldolgozási termékek, fizet-kötőanyag a folyamat a párolgás az anyag hatása alatt lézersugarat.
* Szétválasztása törés. Törés végzett géppel vagy kézzel. MF-ing törés eredményeként rendszerint magasabb hozamot, mint a gép-Ing. Mivel a Gang vezetője tett egyidejű bekarcoltunk az egész lemez, kézi törés lehetővé teszi, hogy szükség esetén, hogy bármilyen törés a sorban. Átlagos törést úgy gyártjuk, hogy a szétválasztása egy lemez volt a legkisebb számú idő-lamyvany. Azonban a kézi törés az üzemeltető „pochuvst-Vova”, ahol további erőfeszítésekre van szükség, majd megfelelően, Wii, akkor változtassa meg a sorrendet. Például, ha kifejtő etsya hogy törés az egyik hosszú sorok kell Redundáns, mert a nyomás, a kezelő gyorsan módosíthatja a sorrendet és termel az első törését fehérebb rövid sort. Ebből következik, hogy a lemez oszlik apró darabokra, „kemény” vonal lesz osztva darab rövid szakaszon, ahol törés RÖVID cal alkatrészek könnyebbé válik. Másik előnye az a lehetőség, kézi törés megfigyelések üzemeltetője minden sor a folyamat a törés, amely képes érzékelni előre egy sor alacsony minőségű vágás.
A vágási vonal kúpos gyémánt vágó kell nagyon gyenge, és nincs nyoma a kialakulását minta repedések. A felesleges terhelés a szerszám látható formájában nagyszámú darab otscheplonnyh pla-Stina. Így alakult repedés n megszerezte a formában egy képet, a hozhuyu kiesését fagy; B, és néha néhány órával később, a terheléstől függően ez a minta előfordulhat a folyamat előrajzolásához vagy közvetlenül utána. Ennek eredményeként, ha megszegi a vonalat hasítás kezdenek terjedni a jelölés mentén, de aztán változás irányát, és szétterjednek vagy repedés. Ezért szükséges, hogy a között skraybyrovaniem és razlamy-vaniem tartott a legrövidebb idő alatt.
A leggyakoribb módszerek a törés proskraybirovannyh lemezek gömb, fél-henger és görgő.
Ostya összetörik hengeres és gömb (ábra 8.1.3) GRO-PAX lehetővé teszi, hogy megkapja kristályok méretaránya 1: 1 és 1: 1,5. A görbületi sugár a gömb vagy fél-henger különböző Cree-kristályok méretei különbözőnek kell lennie.
Egy további sokoldalú módszer a görgő törés (ábra 8.1.4). Proskraybirovannoy lemezt felszínére helyezzük a rugalmas támogatást, és hengerelt sorrendben két egymásra merőleges irányban szilárd görgő átmérője 10 - 30 mm. terhelő erő függvényében választjuk ki a típusú csapágy merevség. A kisebb átmérőjű görgő és merevebb alkalmazott hordozó a tekintetben a kisebb kristály hossza a lemezvastagság (1 / N).
^ Ábra 8.1.3 folyadék megszakítóképesség félgömb alakú testvér-lemezeket M (hengeres) támogatja: